[发明专利]一种获取目标光源光斑分布方法在审
| 申请号： | 202310948003.7 | 申请日： | 2023-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN116931388A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 何振飞 | 申请（专利权）人： | 深圳晶源信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 邹学琼 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤：提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标以及平均光强；预设阈值，从初始光强收敛坐标中输出平均光强大于该阈值的光斑的目标光强收敛坐标，解决了现有技术中难以准确的对光斑进行定位的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获取 目标 光源 光斑 分布 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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