[发明专利]一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备有效
| 申请号： | 202310948398.0 | 申请日： | 2023-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN116695243B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 全峰;蒋礼;顾亚骏 | 申请（专利权）人： | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B29/04 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 陈专 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区光*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备，所述方法包括：获取冷却调节指令，根据冷却调节指令设置冷却参数，并根据冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理；获取金刚石生长设备的不同部件的温度数据，并根据温度数据调节冷却参数，控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内；实时检测冷却参数，当任一冷却参数出现异常时，控制金刚石生长设备进行停机处理。本发明通过设置冷却参数来对金刚石培育过程中的生长设备进行冷却调节，能够有效的控制生长设备始终保持在适合温度，同时也可以实时检测冷却参数数据，能够及时的发现冷却参数的异常情况，并自动进行停机处理，保证了金刚石的正常生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 过程 中的 冷却 控制 方法 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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