[发明专利]一种三维堆叠板级扇出型封装结构与工艺在审
申请号: | 202310949430.7 | 申请日: | 2023-07-31 |
公开(公告)号: | CN116936551A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 刘苏;马书英;王姣 | 申请(专利权)人: | 华天科技(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;H01L23/498;H01L21/56;H01L21/48 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杨淑霞 |
地址: | 215300 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种三维堆叠板级扇出型封装结构与工艺,该结构包括:第一芯片封装体;第二芯片封装体,第一芯片封装体和第二芯片封装体背靠背键合;导电铜柱,所述导电铜柱贯穿第一芯片封装体和第二芯片封装体;第一重布线层,布置在第一芯片封装体的正面;第二重布线层,布置在第二芯片封装体的正面。本发明采用背靠背的方式将两个芯片封装体进行键合,再分别在两面制作重布线和信号引出结构,可以实现芯片布局的多样化设计,并且可以取消传统的二次塑封程序;同时背靠背键合后的整体拥有较高的结构强度,在制作重布线层时无需再使用临时载板,既可以降低物料成本,又可以双面同时作业;相较于传统的逐层增层方案,可以显著提高封装效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 堆叠 板级扇出型 封装 结构 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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