[发明专利]一种高温扩散炉用废液收集预警装置在审
| 申请号： | 202310950123.0 | 申请日： | 2023-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN116935603A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 柯贵军 | 申请（专利权）人： | 江苏龙恒新能源有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/24 | 分类号： | G08B21/24;G08B7/06 |
| 代理公司： | 南京启冠智兴知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32659 | 代理人： | 胡伦 |
| 地址： | 223800 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高温扩散炉用废液收集预警装置，关于高温扩散炉用废液收集技术领域，包括集液瓶和防回流阀，集液瓶用于收集高温扩散炉产生的废液，防回流阀安装在集液瓶的上端，防回流阀用于临时存储废液，其中，防回流阀的下端安装有红外液位检测装置，防回流阀的上端安装有多色灯带，防回流阀的一侧安装有蜂鸣器。与现有技术相比，根据本发明的一种高温扩散炉用废液收集预警装置通过多重方式进行预警，使得工作人员能够在第一时间接收到集液瓶需要更换的消息，通过多种方式进行提醒，还可以在集液瓶满载后，对废液提供额外的临时存储的空间，增加集液瓶的容积，使得废液不会回流至高温扩散炉中，从而不会因为废液回流影响硅片的正常扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 扩散 废液 收集 预警 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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