[发明专利]一种可加快坩埚悬空冷却吊具在审

专利信息
申请号: 202310951605.8 申请日: 2023-07-31
公开(公告)号: CN116924218A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 殷仲阳;高攀;贺贤汉 申请(专利权)人: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
主分类号: B66C1/44 分类号: B66C1/44;F27D9/00;H02N11/00;C30B35/00;C30B29/36
代理公司: 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 代理人: 李坤
地址: 244000 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种可加快坩埚悬空冷却吊具,涉及到碳化硅晶体制备技术领域,包括用于将生长炉内坩埚吊起悬空冷却的重力夹持吊具,还包括利用所述坩埚所带热量作为动力源为所述坩埚进行散热的热动力散热机构。本发明结构合理,本发明在原吊具上增设热动力散热机构,本冷却吊具利用坩埚自身的热量进行发电并给电机提供电能,并利用产生的风力对坩埚进行散热,可加快坩埚的悬空冷却速度,且本热动力散热机构散热效果温和,并不会对坩埚以及晶体产生影响。
搜索关键词: 一种 加快 坩埚 悬空 冷却
【主权项】:
暂无信息
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