[发明专利]一种背面钝化复合结构、TOPCon电池及制备方法

摘要

本申请涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种背面钝化复合结构、TOPCon电池及制备方法；复合结构内穿设有金属电极，所述复合结构包括n+掺杂BSF层、氧化铝钝化层和复合膜层，n+掺杂BSF层设于硅基体的背面，氧化铝钝化层设于复合膜层内，金属电极插入复合膜层内，金属电极穿设氧化铝钝化层设置；通过在TOPCon电池的硅基体背面上引入n+掺杂BSF层、氧化铝钝化层和复合膜层，使得非多晶硅区域通过n+掺杂的BSF层同接触区域隔离，同时氧化铝钝化层设置在复合膜层内，可以改变金属电极和复合膜层内n+掺杂多晶硅层的接触区域和非接触区域的厚度和掺杂浓度，从而降低多晶硅对光的寄生吸收，避免电池短路而使得电流降低，实现电池效率的最佳化。