[发明专利]用于加热晶圆的烘箱以及下蜡机

摘要

本申请提供的用于加热晶圆的烘箱及下蜡机，烘箱包括：支撑架，设置在所述加热腔内部，并位于所述箱体入口的两侧；纵向传递机构，对应安装在所述支撑架上，所述纵向传递机构包括若干承载部，所述纵向传递机构相邻的一侧形成承托区，所述承载部用以在所述承托区对陶瓷盘进行支撑，并带动所述陶瓷盘沿高度方向移动；纵向驱动机构，设置在所述加热腔中，用以带动所述纵向传递机构进行移动。能够将进入到箱体内部的晶圆在高度方向进行运送，可以有效地利用烘箱内部的高度空间，从而避免现有技术中在平面上对晶圆进行运输时占用空间过大的缺陷。