[发明专利]一种氮化镓外延片结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202310973981.7 | 申请日： | 2023-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN116682910A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 谢逸帆;魏强民;黄俊;杨冰;李成果 | 申请（专利权）人： | 湖北九峰山实验室 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 张文静 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及一种氮化镓外延片结构及其制备方法，该外延结构由下至上依次为氧化镓衬底层、（X |
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| 搜索关键词： | 一种 氮化 外延 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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