[发明专利]一种硅应变计及制造方法有效
| 申请号： | 202310975186.1 | 申请日： | 2023-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN116678544B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 汪祖民;周海慧;夏成君 | 申请（专利权）人： | 龙微科技无锡有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 葛莉华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区太湖国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及硅应变计技术领域，公开了一种硅应变计及制造方法，硅应变计包括位于拾取结构两端的支撑框结构和位于支撑框结构中心的应力敏感结构。应力敏感结构两端分别连接对应的支撑框结构和中间拾取结构。每个应力敏感结构包含两个平行的应力敏感梁，两个应力敏感粱之间设有支撑梁；每个应力敏感梁上沿应力敏感梁的长度方向设有至少一个敏感电阻，敏感电阻间通过金属连接线连接。拾取结构上设有用于电信号引出的金属焊盘。两个敏感结构上的敏感电阻和位于拾取结构上的金属焊盘连接成惠斯通半桥。本发明的应力敏感结构位于支撑框的中心，可保护应力敏感结构避免损坏；应力敏感梁之间设置了加强强度的支撑梁，能降低敏感电阻断裂的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应变 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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