[发明专利]一种锆钇铬合金溅射靶材的加工工艺在审
| 申请号： | 202310979383.0 | 申请日： | 2023-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN116926484A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;张学华;魏铁峰;张欠男;岳万祥;施政;孟晓亭 | 申请（专利权）人： | 苏州六九新材料科技有限公司;北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C16/00;B22D7/00;C22F1/18 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 沈娟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区漕湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及溅射靶材加工技术领域，具体公开了一种锆钇铬合金溅射靶材的加工工艺。加工工艺包括如下步骤：将72.5‑79重量份的锆块、16‑22重量份的钇块、2.5‑7.5重量份的铬块混合，获得混合料；在惰性气体保护、电磁搅拌下，将混合料升温熔融，获得金属混合液；将金属混合液于锭模中浇注，脱锭模，降温至室温，获得合金锭；将合金锭进行热处理，获得锆钇铬合金溅射靶材。该加工工艺获得的锆钇铬合金溅射靶材，平均晶粒粒度＜50μm、钇加工损失率＜5%，确保锆钇铬合金溅射靶材中钇含量，降低钇资源浪费，而且锆钇铬合金溅射靶材具有高致密度、无气孔、无偏析、无裂纹、组织均匀、易于加工的优点，满足市场需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锆钇铬 合金 溅射 加工 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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