[发明专利]一种半导体湿法设备用无脉冲空气泵在审
| 申请号： | 202310982947.6 | 申请日： | 2023-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN116877383A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 马磊 | 申请（专利权）人： | 威海奥牧智能科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00;F04B39/12 |
| 代理公司： | 威海惠和惠知识产权代理事务所(普通合伙) 37387 | 代理人： | 宋玲玲 |
| 地址： | 264200 山东省威海市环翠区羊亭*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体湿法设备用无脉冲空气泵，包括空气泵本体，空气泵本体左侧靠近顶部处固定连接有出口管，空气泵本体左侧靠近底部处固定连接有入口管，空气泵本体右侧设有空气过滤器，出口管和入口管外侧边缘均套设有管道，管道外侧边缘靠近右端处固定连接有固定环，管道顶部和底部靠近右端处均开设有连接槽，管道顶部均设有固定盘，固定盘顶部均固定连接有密封塞。本发明将管道套在出口管和入口管处，密封塞可对出口管和入口管进行密封；半圆板从而对管道进行支撑，避免出现两个管道交叉连接在一起，安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 湿法 备用 脉冲 气泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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