[发明专利]一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚

摘要

本发明公开了一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚，涉及石墨舟技术领域，包括舟体、舟脚、电极块、支撑柱、浮动套、空心套；多个水平穿设于空心套上的刮板，刮板在空心套上能自由滑动；用于在空心套朝上移动时，能够驱动多个刮板沿空心套径向运动的驱动部；用于在空心套朝上移动时，驱动刮板绕支撑柱轴向旋转的旋转部。当舟体放置于管式PECVD设备内时，随着舟体的下放，空心套将相对舟脚朝上移动，将由旋转部驱动多个刮板绕支撑柱的轴向旋转，使得多个刮板能够旋转并对管式PECVD设备的电极座表面进行清理，进而将电极座表面氮化硅粉末及碎片刮出且远离舟脚，使得能够避免氮化硅粉末或碎片与舟脚接触，进而造成舟脚与电极座接触不良的现象。