[发明专利]一种高密度探针卡及制备方法、测试方法有效
| 申请号： | 202311010393.X | 申请日： | 2023-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN116754814B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 徐振 | 申请（专利权）人： | 杭州朗迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/18;G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 杨云 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种高密度探针卡及制备方法、测试方法，探针卡包括测试结构和屏蔽结构，测试结构包括基部及若干探针，探针彼此间隔的连接在基部的一侧；屏蔽结构包括支撑板、若干屏蔽罩和定位单元；支撑板与基部平行设置，具有若干通孔，每个探针能够贯穿支撑板；屏蔽罩围绕单个探针设置，包括接地外壳和弹性屏蔽单元，接地外壳分别与探针底部和弹性屏蔽单元连接，支撑板连接弹性屏蔽单元远离所述接地外壳的一端，能够带动弹性屏蔽单元沿探针长度方向伸缩运动；弹性屏蔽单元通过导电UV胶与接地外壳连接；定位单元连接支撑板并带动支撑板运动，以使支撑板以预设间距相对基部定位。本探针卡能够避免探针间相互干扰，提高测试密度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 探针 制备 方法 测试 | ||
【主权项】：
暂无信息
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