[发明专利]一种光相位调制器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202311012441.9 | 申请日： | 2023-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN116931295A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 刘敬伟;李超 | 申请（专利权）人： | 国科光芯（海宁）科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京中盛智产知识产权代理事务所(普通合伙) 16196 | 代理人： | 季茂源 |
| 地址： | 314503 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请属于光学技术领域，涉及一种光相位调制器件及其制备方法，包括：衬底(10)；第一波导芯(12)，设置在衬底(10)上；第二波导芯(16)，设置在第一波导芯(12)的上方的上包层(17)中，第一波导芯(12)与第二波导芯(16)之间有可变空隙(104)；应力模块，设置在空隙(104)上方的上包层(17)上，通过应力模块发生的形变使得上包层(17)发生形变，通过上包层(17)形变使得第一波导芯(12)和第二波导芯(16)之间的空隙(104)变大或变小。本申请提出的光相位调制器件，在不需要基于特定的物理效应的情况下，仅通过应力模块改变第一波导芯(12)与第二波导芯(16)的间距，便能改变光波导的有效折射率，从而实现光相位调制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相位 调制 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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