[发明专利]双极势垒短波红外探测器及制备方法在审

专利信息
申请号: 202311016794.6 申请日: 2023-08-14
公开(公告)号: CN116936659A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 李农;牛智川;王国伟;徐应强;蒋洞微;吴东海;郝宏玥;倪海桥;苏向斌 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/0304;H01L31/0336;H01L31/105;H01L31/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 樊晓
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种双极势垒短波红外探测器及制备方法,该双极势垒短波红外探测器包括:衬底;缓冲层,形成于衬底上;第一接触层,形成于缓冲层上,叠层结构,形成于第一接触层上,且与第一接触层形成台面,叠层结构包括:空穴势垒层,形成于第一接触层上;光吸收层,形成于空穴势垒层上,光吸收层适用于吸收外部的短波红外光,并产生电子和空穴;电子势垒层,形成于光吸收层上;第二接触层,形成于电子势垒层上;第一电极,形成于第一接触层上,且位于叠层结构的两侧,第一电极和第一接触层形成欧姆接触;第二电极,形成于第二接触层上,且位于第二接触层的两端,第二电极和第二接触层形成欧姆接触。
搜索关键词: 双极势垒 短波 红外探测器 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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