[发明专利]一种Micro LED芯片测试方法及装置在审

专利信息
申请号: 202311025256.3 申请日: 2023-08-15
公开(公告)号: CN116930720A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 汪恒青;张星星;林潇雄;胡加辉;金从龙 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R3/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 郑菁
地址: 330000 江西省南昌市*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种Micro LED芯片测试方法及装置,方法包括提供一基板,在基板上制备两通孔,并在基板上沉积导电金属层;刻蚀导电金属层,以在基板上形成电极总线;在基板上涂覆绝缘保护层,并在绝缘保护层上开设若干测试孔,以漏出预设位置的电极总线;在测试孔上沉积测试电极,使测试电极与待测芯片电极一一对应并贴合;采用激光照射待测芯片,得到待测芯片的发光信息,并通过测试电极测量待测芯片的电压信号及电流信号;将测试电极的阴极和阳极分别汇总到阴极总线、阳极总线,并将阴极总线与阳极总线接入测试信号源,以测试电压信号及电流信号。本发明接触的对待测芯片进行测试,无需探针卡对待测芯片进行测试,有效降低测试成本。
搜索关键词: 一种 micro led 芯片 测试 方法 装置
【主权项】:
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