[发明专利]一种Micro LED芯片测试方法及装置在审
申请号: | 202311025256.3 | 申请日: | 2023-08-15 |
公开(公告)号: | CN116930720A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 汪恒青;张星星;林潇雄;胡加辉;金从龙 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R3/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 郑菁 |
地址: | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种Micro LED芯片测试方法及装置,方法包括提供一基板,在基板上制备两通孔,并在基板上沉积导电金属层;刻蚀导电金属层,以在基板上形成电极总线;在基板上涂覆绝缘保护层,并在绝缘保护层上开设若干测试孔,以漏出预设位置的电极总线;在测试孔上沉积测试电极,使测试电极与待测芯片电极一一对应并贴合;采用激光照射待测芯片,得到待测芯片的发光信息,并通过测试电极测量待测芯片的电压信号及电流信号;将测试电极的阴极和阳极分别汇总到阴极总线、阳极总线,并将阴极总线与阳极总线接入测试信号源,以测试电压信号及电流信号。本发明接触的对待测芯片进行测试,无需探针卡对待测芯片进行测试,有效降低测试成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 micro led 芯片 测试 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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