[发明专利]一种图像处理方法、装置、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202311050927.1 | 申请日： | 2023-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN116934739A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吴立升;张武杰 | 申请（专利权）人： | 中科慧远智能装备（广东）有限公司;中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/12;G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734 | 代理人： | 秦然 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供了一种图像处理方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取待检测晶圆对应的晶圆图像；基于晶圆图像中各个像素点的像素值，对晶圆图像进行分割处理，得到晶圆图像对应的第一晶圆子图像和第二晶圆子图像；根据第一晶圆子图像和第二晶圆子图像确定待检测晶圆的边缘崩边区域图像；提取边缘崩边区域图像的轮廓特征作为图像特征；基于图像特征确定待检测晶圆是否存在预设缺陷。采用该方法，可以采集晶圆图像，通过提取晶圆图像的边缘崩边区域图像的图像特征，利用图像特征检测晶圆缺陷，节省了人工资源的同时提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图像 处理 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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