[发明专利]一种LDI聚焦系统在审
| 申请号： | 202311060717.0 | 申请日： | 2023-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN116954036A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李显杰;徐广峰;卞钦巍;陈海巍 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 过顾佳 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种LDI聚焦系统，涉及直写曝光技术领域，该方法包括上位机、运动平台以及设置在运动平台上的对准相机、对准镜筒、光源和测距传感器。其中，对准镜筒的顶部与对准相机相接，对准镜筒的底部固定有光源，测距传感器固定在光源上；运动平台用于承载PCB并带动其沿z轴方向移动，测距传感器用于检测PCB相对于自身的距离。上位机与运动平台、对准相机和测距传感器连接，上位机根据测距传感器反馈的数据判定当前PCB的mark标记是否在对准镜筒的焦面内，不在则控制运动平台移动，直至对准相机重新聚焦到mark标记。解决了因板材曲翘或者机械结构形变导致的焦面不对的问题，满足PCB行业产能的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 聚焦 系统 | ||
【主权项】：
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