[发明专利]氢气传感器及氢气浓度检测装置在审
| 申请号： | 202311074089.1 | 申请日： | 2023-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN116930123A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冯文林;王观静芸;杨晓占;廖仁杰 | 申请（专利权）人： | 重庆理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/01 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 陆瑞 |
| 地址： | 400054 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种氢气传感器，在设计的MZI中，传感臂采用双槽混合等离子体波导作为传感元件，支持准TE偏振模式，可与SOI平台生产工艺兼容，利用槽两侧Pd盘与氢气反应之后的膨胀变化，改变混合等离子体波导模式的有效折射率，导致干涉波谱偏移，实现高灵敏的氢气浓度检测。本发明还公开了氢气浓度检测装置，对于低浓度范围内的氢气检测具有较好的线性响应，可以实现低于氢爆炸下限的高灵敏氢气传感。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 传感器 浓度 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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