[发明专利]一种钼片载盘旋转装置在审
| 申请号： | 202311128371.3 | 申请日： | 2023-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN116921327A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 马玉水;王志广;白如意 | 申请（专利权）人： | 联盛半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种钼片载盘旋转装置，包括壳体，壳体的底板顶面的中心安装有立柱，立柱的径向外周表面套装有上永磁转环安装轴承，上永磁转环套装在上永磁转环安装轴承上，转管的底端与上永磁转环相连；转管的侧壁上设有过水通孔；壳体的壳体侧壁上设有进水孔；环盖套装在转管的径向外周表面；转管的顶端位于环盖上方，钼片载盘活动安装在转管的顶端；钼片载盘的中心垂直线设有若干出水孔；出水孔与转管的内孔顶端连通；驱动电机垂直向安装壳体的底板下方，驱动电机的输出轴顶端设有与上永磁转环大小相同的下永磁转环；下永磁转环与壳体的底板之间设有间隙。本发明钼片载盘旋转装置可在清洗时，保护钼片的背面不受侵蚀，清洗效果好，且节省酸液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钼片载 盘旋 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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