[发明专利]一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法在审
| 申请号： | 202311129165.4 | 申请日： | 2023-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN116922257A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;沈盛虎;刘洪宇 | 申请（专利权）人： | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/27;B24B37/34;B24B55/06;G01B21/30;B08B1/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 张岭 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市直*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法，一种下部电极再生涂层研磨装置，包括工作台以及安装在工作台上的承托部件，工作台的顶部开设有两个承托槽，两个承托槽位于下部电极的两侧，承托部件包括两个分别转动安装在承托槽内底面上的承托螺杆；两个承托槽的内底面上均固定连接有承托导杆；承托螺杆与承托导杆上套设有用于承托下部电极的承托板，承托螺杆与承托板螺纹连接。一种下部电极再生涂层研磨方法，包括以下步骤：S1、首先启动电机，电机带动承托板上升，当承托板移动至承托螺杆的顶部时，清理板对工作台上的铝屑与杂质进行清理。本申请改善了工作人员的操作过程较为繁琐的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 下部 电极 再生 涂层 研磨 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽高芯众科半导体有限公司，未经安徽高芯众科半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202311129165.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：埋地管道施工方法
- 下一篇：新能源扁线沿边弯曲加工装置和扁线沿边弯曲加工方法
