[发明专利]抛光垫及抛光系统在审
| 申请号： | 202311132487.4 | 申请日： | 2023-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN116945034A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 林文多;高越;王腾;杨浩;段冲;王椎;黄锐 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙汇盛新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种抛光垫以及包含该抛光垫的抛光系统，其中抛光垫包含抛光层，所述抛光层表面包含有位于圆心处的中心区域、设置在中心区域外周的外周区域以及放射线沟槽,所述外周区域内设置有网格状沟槽；所述网格状沟槽的沟槽宽度为Wa，网格状沟槽的相邻两条沟槽之间的间距为P，其中Wa与P的比值需要满足0.2≤Wa/P≤0.4；本发明通过对抛光垫不同的抛光区域及沟槽尺寸以及相关参数进行综合设计，是的抛光垫具有优异的综合抛光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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