[发明专利]一种图像传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种图像传感器及其制作方法，属于半导体技术领域。所述图像传感器包括：衬底；光电二极管，设置在所述衬底内；转移管，设置在所述衬底上，所述转移管包括转移栅极，所述转移栅极的一侧与所述光电二极管的边缘对齐；增强沟槽设置在所述转移栅极的下方的所述衬底内，且所述增强沟槽与所述光电二极管接触设置；压电层，设置在所述增强沟槽的侧壁和底部，以及所述转移栅极靠近所述光电二极管的一侧底部；以及浮动扩散区，设置在所述转移栅极相对于所述光电二极管一侧的所述衬底内。通过本发明提供的一种图像传感器及其制作方法，能够提高光电荷转移效率，并减少图像传感器的暗电流。