[发明专利]一种制备锂电池复合集流体的装备与方法在审

专利信息
申请号: 202311148622.4 申请日: 2023-09-07
公开(公告)号: CN116875954A 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: 张凯杰;朱国朝 申请(专利权)人: 纳狮新材料有限公司杭州分公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/54;H01M4/64
代理公司: 北京国翰知识产权代理事务所(普通合伙) 11696 代理人: 叶帅东
地址: 310000 浙江省杭州市钱*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种制备锂电池复合集流体的装备与方法,涉及锂电池复合集流体领域,包括真空腔体、传送组件、镀膜组件和制冷组件,镀膜组件包括设于真空腔体内底侧的坩埚和与坩埚对应设置的电子枪,传送组件用于实现传送基材与坩埚对应设置;镀膜组件还包括磁控溅射装置,磁控溅射装置用于实现在基材与坩埚对应之前将靶材离子化并沉积在基材表面,制冷组件用于实现真空腔体内温度降低。本发明的目的在于提供一种温度控制强、成品质量高且制备速度快的一种制备锂电池复合集流体的装备与方法。
搜索关键词: 一种 制备 锂电池 复合 流体 装备 方法
【主权项】:
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