[发明专利]线宽测量方法在审
| 申请号： | 202311195651.6 | 申请日： | 2023-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN116931389A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 石方毅;曾辉;李贵琦 | 申请（专利权）人： | 粤芯半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 尤彩红 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种线宽测量方法，先从多个测试图形中选取部分包含光学临近效应的测试图形作为量测点图形，并获取量测点图形的位置信息；通过量测点图形的位置信息建立自动测量程序以获取量测点图形对应的晶圆数据，晶圆数据包括量测点图形对应在晶圆上的实际量测点图形的线宽；通过晶圆数据建立光刻模型，以通过光刻模型形成新的版图，新的版图包括多个新的测试图形；获取新的测试图形的位置信息，并通过新的测试图形的位置信息建立新的自动测量程序以获取新的测试图形对应的新的晶圆数据，新的晶圆数据包括新的测试图形对应在晶圆上实际图形的线宽。仅需建立一个自动测量程序就可以实现测量晶圆上的实际图形的线宽，可以提高线宽测量的成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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