[发明专利]一种铌酸锂薄膜脊型波导调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 202311196005.1 | 申请日： | 2023-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN116931367A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨志远;汪斌;李鑫;陶艺;刘磊;郑名扬;刘洋;谢秀平 | 申请（专利权）人： | 济南量子技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B6/13;G02B6/134;G02B6/12 |
| 代理公司： | 河南舜壹知识产权代理事务所(普通合伙) 41213 | 代理人： | 黄晶 |
| 地址： | 250101 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铌酸锂薄膜脊型波导调制器及其制备方法，该方法包括：提供一铌酸锂薄膜晶圆；在薄膜上涂覆光刻胶和导电胶；进行电子束曝光处理，在所述光刻胶中形成金属标记凹槽、第一波导凹槽和第二波导凹槽；显影处理；金属电镀处理，在相应凹槽中生成金属标记和波导结构硬掩膜；利用掩膜对薄膜进行刻蚀得到第一、第二波导；去除波导结构硬掩膜，然后涂覆导电胶，以金属标记为套刻标记进行曝光、显影处理，电镀处理分别形成三个金属电极，得到脊型波导；沉积保护层以及在脊型波导上耦合光纤，得到铌酸锂薄膜脊型波导调制器。本发明只需一步套刻法，就能制备出调制器，支持使用成本相对低很多的普通曝光胶，大大降低工艺复杂度和成本、更节能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 薄膜 波导 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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