[发明专利]可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法在审
申请号: | 202311197417.7 | 申请日: | 2023-09-18 |
公开(公告)号: | CN116920565A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 唐勤友;贺明星;刘华琴;王琳;郝文炳;张正雄 | 申请(专利权)人: | 上海联风气体有限公司 |
主分类号: | B01D53/02 | 分类号: | B01D53/02;C01B23/00 |
代理公司: | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人: | 罗晓飞 |
地址: | 201422 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请公开可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统,所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统包括阀组、至少两吸附塔、与所述吸附塔至少数量相同的排污通道、进气构件以及至少一氩气回流构件,所述阀组包括一进气阀、一解析控制阀以及至少两排污阀,每个所述吸附塔的顶部具有一富氩出气口,并且每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口被相互连通,以形成一再生通道,每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口还被连通于一出富氩气通道。 | ||
搜索关键词: | 减少 深冷污氩 排放量 分离 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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