[发明专利]基于探针扫描的纳区光致发光探测系统及方法在审
申请号: | 202311207234.9 | 申请日: | 2023-09-19 |
公开(公告)号: | CN116930130A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 白本锋;黄嘉泰;孙洪波 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01Q60/24;G01N21/88;G01B11/24;G01B9/04 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 吴丹丹 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及光学器械技术领域,具体涉及一种基于探针扫描的纳区光致发光探测系统及方法,其中,系统包括:倒置显微成像模块,用于调控底部激发光源,将激发光源聚焦于探测目标的表面,生成探测目标的聚焦光斑处的光场信号;原子力显微镜模块,用于在获得所述探测目标的形貌信息的同时,散射并调制探测目标的聚焦光斑处的光场信号,通过倒置显微成像模块收集并转换为调制电学信号;信号处理模块,用于解调调制电学信号,得到包括光致发光在内的超分辨纳区光场信息。由此,解决了相关技术中的光致发光扫描探测系统受限于光学衍射极限,空间分辨率低,难以应用于被检测材料局部的纳米级尺度的缺陷检测的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 基于 探针 扫描 光致发光 探测 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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