[实用新型]一种薄膜铌酸锂调制器

摘要

本实用新型公开一种新型薄膜铌酸锂调制器，涉及光通信器件技术领域。本实用新型包括光学结构和电学结构。光学结构基于X切薄膜铌酸锂材料，包括：输入波导、分束器、波导臂、合束器、输出波导；波导臂包含常规波导区和调制波导区，调制波导区铌酸锂材料的铁电畴的极化方向相反。电学结构包括信号‑地‑信号电极组成的行波电极结构，包含信号输入区、调制电极区、匹配电阻区，采用差分驱动。本实用新型的薄膜铌酸锂调制器在采用差分驱动的同时降低了行波电极的电损耗，同时利用折叠结构，实现了低调制电压、高调制带宽和低插入损耗，为调制器的小型化和高度集成化提供了解决方案。