[实用新型]一种供酸系统

摘要

本实用新型涉及常压式化学气相沉积机的技术领域，且公开了一种供酸系统，包括存储瓶，所述存储瓶的外部固定连接有用于存储瓶和密封盖连接的螺纹接管，所述螺纹接管的外部活动连接有用于配合螺纹接管密封存储瓶的盖套。通过小弹垫和大弹垫组成的凸台结构气密垫配合连接盘组成U形槽结构和盖套内侧中空L形截面的支撑槽回转卡接密封，从而使得盖套和存储瓶外部的螺纹接管转动安装或分离过程，从而避免盖套转动带动连接盘转动使得输气管在存储瓶内部转动接触造成输气管弯折无法正常输送氮气，保证了常压式化学气相沉积机中输送氢氟酸蒸汽到履带表面的稳定性和可靠性，提高了晶圆生产的成品率。