[实用新型]单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机有效
| 申请号： | 202320147960.5 | 申请日： | 2023-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN219417273U | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 聂伟;林育全;陈志远 | 申请（专利权）人： | 厦门通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 周颖颖 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机，单颗晶圆检测治具包括：治具载板，治具载板的第一侧设有第一凹槽，第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，晶圆支撑件具有一开口，开口内放置有用于抵靠待测晶圆的承靠件，待测晶圆以及与待测晶圆相适配的承靠件将开口挤满。单颗晶圆检测治具中治具载板的第一侧的第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，待测晶圆以及与待测晶圆相适配的承靠件将晶圆支撑件的开口挤满，方便晶圆的快速定位，进而便于佐证AOI光学检测机的检测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 单颗晶圆 检测 aoi 光学 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门通富微电子有限公司，未经厦门通富微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320147960.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种偏航控制装置和偏航保护装置
- 下一篇：二片罐拉伸机自动加润滑油控制系统
