[实用新型]一种雾化器及PECVD镀膜装置

摘要

本实用新型适用于雾化器技术领域，提供了一种雾化器及PECVD镀膜装置，雾化器包括：内设置有腔体的阀体，阀体设有与腔体连通的进液口；盖设于阀体并封装腔体的盖板；与阀体连接的连接座，连接座设有与腔体连通的出雾口；可拆卸固定于腔体内的多个挡板，相邻两个挡板相对间隔形成一连通空间，各连通空间依次连通形成相应雾化路径的雾化通道，雾化通道连通进液口与出雾口；填充于雾化通道内的导热多孔填充物；设置于腔体内的加热装置。本实用新型提供的一种雾化器可以根据需要灵活拆卸挡板或增加挡板来改变雾化通道的雾化路径，方便雾化路径的调整，且雾化路径的调整实现成本低。