[实用新型]一种双面曝光机的单向移动曝光机构

摘要

本实用新型公开了一种双面曝光机的单向移动曝光机构，设在双面曝光机的机架上，机架上设菲林模块，菲林模块包括上菲林组件、下菲林组件、若干推板组件和若干顶板组件，菲林模块的Z向两侧设有光源模块，光源模块包括上光源组件和下光源组件。本实用新型将上菲林组件设为固定结构，将下菲林组件设为活动部件，工作时只需移动下菲林组件即可实现上下菲林板与基板的紧密压合，避免机构相对移动错位导致的基片转印线路歪斜、边界模糊的问题，且传动结构简单，机构成本较低，降低曝光设备制造成本；并可满足不同规格尺寸的菲林模块的压紧需要，确保清晰转印；通过设置若干限位件和翻转组件，可避免造成设备部件的损坏，并降低操作人员的劳动强度。