[实用新型]一种MEMS声传感芯片测试设备有效
申请号: | 202320457405.2 | 申请日: | 2023-03-13 |
公开(公告)号: | CN219357027U | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 徐红星;姜巍;张福平;王文强;曹凯强 | 申请(专利权)人: | 苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;G01R31/28;G01R1/04;B07C5/36;B07C5/02 |
代理公司: | 上海克洛恩知识产权代理事务所(普通合伙) 31436 | 代理人: | 侯苗苗 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请属于芯片测试技术领域,公开了一种MEMS声传感芯片测试设备,包括上端开口的检测箱,所述检测箱的上表面开设有安装槽,所述安装槽内设置有用于封闭检测箱的上盖,所述检测箱相对的两个内壁上均开设有滑槽,两个滑槽内均滑动设置有滑块,两个所述滑块相互靠近的侧壁上共同安装有安装板,所述安装板的上表面开设有两个相互对称的滑动槽,所述滑动槽内滑动设置有滑动块,所述滑动块的上表面固定有用于检测芯片的检测装置,所述检测箱的侧壁上设置有两个指示灯,所述指示灯与检测装置一一对应并电连接,所述检测箱上设置有用于对滑块进行限位的限位组件,所述安装板上设置有用于驱动滑动块的驱动组件。本申请具有提高检测效率的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 传感 芯片 测试 设备 | ||
【主权项】:
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