[实用新型]一种晶圆切割切口检测装置

摘要

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆切割切口检测装置，包括底板和电机，所述底板的顶部与所述电机固定连接，所述底板的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离所述底板的一端固定连接有承重板，所述电机的主轴末端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的外侧固定连接有旋转块，所述旋转块的外侧设置有放置组件；所以放置组件包括有与所述旋转块外侧固定连接的旋转板。本实用新型中，电机转动通过旋转杆带动旋转块偏转，旋转块通过旋转板带动放置框和晶圆发生偏转，挡块将晶圆挡住，放置框继续偏转，晶圆滑落至承重板上，根据晶圆是否符合标准，来控制对应的电推杆带动定位板和推板运动，将晶圆推至对应的收集框中。