[实用新型]一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具

摘要

本实用新型公开了一种五轴加工中心加工光刻机支座的工装夹具，包括底板，底板上分别设置有若干个底部支撑柱、侧面定位柱、螺纹压紧件；底部支撑柱用于支撑光刻机支座的底面；侧面定位柱位于光刻机支座的一侧，其沿着光刻机支座的边缘轮廓分布，用于顶紧光刻机支座的侧边；螺纹压紧件分为两组，一组用于压紧光刻机支座的顶面，另一组用于压紧光刻机支座的底部上表面。本实用新型对光刻机支座通过底部支撑、侧面定位、以及顶部和底部的压紧进行全方位的固定，有效防止了光刻机支座在加工的过程中出现振动的现象，本实用新型固定后，光刻机支座的加工面均可露出，利用本夹具固定后并不影响对光刻机支座的加工。