[实用新型]微机电设备有效
| 申请号： | 202320666411.9 | 申请日： | 2023-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN219776747U | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | L·G·法罗尼;P·卡鲁里;P·费德利;L·奎利诺尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔慧玲 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开的实施例涉及微机电设备。提出了MEMS角速率传感器，MEMS角速率传感器具有在半导体层上被微机械加工的两对悬置质量块。第一对包括彼此相对且镜像的两个质量块。第一对质量块具有驱动结构，以用于在线性方向上生成机械振动。第二对质量块包括彼此相对且镜像的两个质量块。第二对质量块利用耦合元件耦合到第一对驱动质量块。两对质量块被耦合到中心桥。中心桥具有差分配置，以用于排除任何外部干扰。两对质量块中的每个质量块包括不同的部分，以用于检测不同的线性运动和角度运动。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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