[实用新型]一种晶圆存储盒的防坠落装置

摘要

本实用新型涉及半导体设备技术领域，且公开了一种晶圆存储盒的防坠落装置，包括承载平台和防护件；所述承载平台上具有承载面，所述防护件设置于所述承载平台上，所述防护件上具有防护面，所述防护面和所述承载面相对设置。在本实用新型提供的一种晶圆存储盒的防坠落装置中，具有如下优点：通过承载平台、防护件和安装支架的配合设置，当机械手臂因特殊故障发生急停时，晶圆存储盒会受到惯性发生倾斜，晶圆存储盒会被防护件的防护面限位，以限制晶圆存储盒侧翻坠落，从而使得晶圆存储盒保持在承载区内，使其得到固定保护，从而避免晶圆存储盒的坠落，减少晶圆存储盒的意外损坏率，为晶圆存储盒提供有效保护。