[实用新型]一种气密性强的单晶炉炉体结构有效

专利信息
申请号: 202320736344.3 申请日: 2023-04-06
公开(公告)号: CN219752484U 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 陈伟;周伟;沈俊 申请(专利权)人: 常州磐云精密机械有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 盐城汇聪知识产权代理事务所(普通合伙) 32581 代理人: 杨勇
地址: 213000 江苏省常州市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开了一种气密性强的单晶炉炉体结构,包括底座和承载板,所述底座的顶部与承载板的底部固定连接,承载板顶部的中部固定连接有单晶炉,单晶炉顶部的中部贯穿有气动轴,气动轴的顶部固定连接有连接端口,所述单晶炉正表面的中部固定连接有防护框,并且防护框正表面的左侧固定连接有合页,本实用新型涉及单晶炉技术领域。该气密性强的单晶炉炉体结构,通可以采用充气式气囊填充凹槽,让单晶炉的密封更加稳定,且通过气压控制气囊的膨胀程度来选择单晶炉的密封状态,实现可控式气密等级,同时也避免了漏气等因密封不够强导致的气密性问题,使整体单晶炉加工使用过程得到保证,避免气体流失,这便于人们使用。
搜索关键词: 一种 气密性 单晶炉炉体 结构
【主权项】:
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