[实用新型]一种气密性强的单晶炉炉体结构有效
申请号: | 202320736344.3 | 申请日: | 2023-04-06 |
公开(公告)号: | CN219752484U | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 陈伟;周伟;沈俊 | 申请(专利权)人: | 常州磐云精密机械有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 盐城汇聪知识产权代理事务所(普通合伙) 32581 | 代理人: | 杨勇 |
地址: | 213000 江苏省常州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种气密性强的单晶炉炉体结构,包括底座和承载板,所述底座的顶部与承载板的底部固定连接,承载板顶部的中部固定连接有单晶炉,单晶炉顶部的中部贯穿有气动轴,气动轴的顶部固定连接有连接端口,所述单晶炉正表面的中部固定连接有防护框,并且防护框正表面的左侧固定连接有合页,本实用新型涉及单晶炉技术领域。该气密性强的单晶炉炉体结构,通可以采用充气式气囊填充凹槽,让单晶炉的密封更加稳定,且通过气压控制气囊的膨胀程度来选择单晶炉的密封状态,实现可控式气密等级,同时也避免了漏气等因密封不够强导致的气密性问题,使整体单晶炉加工使用过程得到保证,避免气体流失,这便于人们使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 气密性 单晶炉炉体 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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