[实用新型]一种光学膜厚监控系统有效
| 申请号： | 202320843201.2 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN219914339U | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 潘永刚;林兆文;王奔;付秀华 | 申请（专利权）人： | 中山吉联光电科技有限公司;长春理工大学中山研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黎飞鸿;黄贞君 |
| 地址： | 528414 广东省中山市火炬开发*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种光学膜厚监控系统，应用于光学膜厚监控技术领域，中光学膜厚监控系统包括：单波长系统、宽光谱分析仪、光源组件和接收器，所述光源组件包括光源和监控件，所述光源用于发射光线，所述监控件设置在所述光源的照射路径上，所述监控件具有用于形成膜的表面。所述接收器的输入端对应在所述照射路径上，用于接收穿过监控件和膜后的光线，所述接收器的输出端分别连接所述单波长系统和宽光谱分析仪的输入端，用于通过所述单波长系统，和/或，宽光谱分析仪监测所述膜的厚度。相比于单独采用单波长光学膜厚在线控制系统或单独采用宽光谱实时膜厚监控系统，能够准确检测膜的厚度，并控制薄层的薄膜的厚度，从而提高沉积薄膜的控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 监控 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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