[实用新型]一种等离子刻蚀设备有效
| 申请号： | 202320925260.4 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN219696390U | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 张二辉 | 申请（专利权）人： | 上海微芸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市一法律师事务所 11654 | 代理人： | 刘荣娟 |
| 地址： | 201299 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种等离子刻蚀设备，所述等离子刻蚀设备包括：加热腔体；陶瓷底座，设置于所述加热腔体底部，用于承载加热器；风扇，设置于所述加热腔体的第一侧，用于向所述陶瓷底座吹风降温；扇叶结构，设置于所述风扇的出风面，用于引导所述风扇吹出的气流方向；控制装置，与所述扇叶结构连接，用于控制所述扇叶结构的引导方向。本申请提供一种等离子刻蚀设备，利用可调节扇叶方向的扇叶结构来调整风扇的吹风方向，可以提高陶瓷底座表面的温度均匀性，提高陶瓷底座的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微芸半导体科技有限公司，未经上海微芸半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320925260.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种变幅小车维修吊笼
- 下一篇：一种圆柱电池盖板打码工装
