[实用新型]一种降低开关栅极总电荷的N沟道增强型MOSFET器件有效

专利信息
申请号: 202321033801.9 申请日: 2023-05-04
公开(公告)号: CN219800850U 公开(公告)日: 2023-10-03
发明(设计)人: 涂长招;王力;袁益飞;严康;赖保良;黄周娟;伍彩霞 申请(专利权)人: 福建康博电子技术股份有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 364000 福建省龙岩市新罗区东*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及一种降低开关栅极总电荷的N沟道增强型MOSFET器件,包括:衬底,所述衬底为掺杂有p‑离子的硅基片,所述衬底的底面开设有第一凹槽,所述衬底的顶面开设有第二凹槽;N型重掺杂区域,数量为两个,所述N型重掺杂区域为掺杂有n+离子的区域,分别形成在所述衬底的上端,两个所述N型重掺杂区域分别设置于所述第二凹槽的两侧;源极和漏极,分别电连接至所述N型重掺杂区域;金属填充区域,所述第一凹槽内填充相应的金属形成所述金属填充区域;绝缘层,覆盖设置于第二凹槽的上表面;栅极,填充于所述第二凹槽对应所述绝缘层以上的区域。
搜索关键词: 一种 降低 开关 栅极 电荷 沟道 增强 mosfet 器件
【主权项】:
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