[实用新型]一种基于三相机的共聚焦显微测量机构及测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于三相机的共聚焦显微测量机构及测量装置，其涉及光学计量仪器技术领域，包括相机盒子、第一相机、第二相机和第三相机，通过在相机盒子内部设置二向色镜Ⅰ、二向色镜Ⅱ、全反射镜Ⅰ和全反射镜Ⅱ将透过物镜的光束按照波长进行分离，并使分离后的光束分别射向第一相机、第二相机和第三相机，同时限定不同波长的光束自二向色镜Ⅰ到第一相机、第二相机和第三相机的光程相等，进而实现利用三个相机同时接收三个不同波段的光成的像，有效提高了测量效率；此外，显微测量结构通过移动组件设置于支撑架上，在移动组件的作用下，显微测量机构的高度上下可调且行程长，有效降低了显微测量装置对待检测样品的高度要求。