[实用新型]晶圆测速装置有效
| 申请号： | 202321281950.7 | 申请日： | 2023-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN219657664U | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 顾浩;杨俊男;闫晓晖 | 申请（专利权）人： | 上海积塔半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01P1/00 | 分类号： | G01P1/00;G01P1/04;G01P3/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 200123 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆测速装置。所述晶圆测速装置包括：腔室，所述腔室用于放置待测晶圆；一对驱动轮，所述一对驱动轮设置于所述腔室内并对置于所述待测晶圆的两侧，用于驱动所述待测晶圆旋转；测速轮，所述测速轮设置于所述腔室内并与所述待测晶圆相接触，用于对所述待测晶圆进行测速；可伸缩部件，所述可伸缩部件固定于所述腔室内并与所述测速轮固定连接，用于使所述测速轮与所述待测晶圆保持接触。上述技术方案通过设置与测速轮固定连接的可伸缩部件，可以使测速轮与待测晶圆保持接触，从而主动去匹配与驱动轮之间的相对位置，实现测速轮位置的自适应调节。 | ||
| 搜索关键词： | 测速 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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