[实用新型]一种锗单晶生长炉有效
申请号: | 202321336264.5 | 申请日: | 2023-05-30 |
公开(公告)号: | CN219689929U | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 张建;李怀宇;吴建成;马敬涛;徐建雷;裴光华 | 申请(专利权)人: | 保定晶泽光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/08 |
代理公司: | 北京盛广信合知识产权代理有限公司 16117 | 代理人: | 张军艳 |
地址: | 071000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型提供一种锗单晶生长炉,包括:炉体,炉体固接在底座上;保温炉,安装在炉体内,保温炉外侧壁底部设置有加热管,保温炉与炉体之间设置有散热通道,保温炉顶端开设有开口,开口内滑接有籽晶;散热件,散热件包括与开口对应设置的散热扇,散热扇与炉体滑接,散热扇上设置有锁紧件,散热扇通过锁紧件相对于保温炉固定;固定件,设置在底座内,固定件包括与底座滑接的两夹块,夹块的一端传动连接有驱动件,两夹块通过驱动件相向或相反运动,夹块用于稳固可升降的坩埚。本实用新型能够实现有效提高生长炉的散热效果,加快锗单晶生产效率,减小位错密度,提高晶体完整性。 | ||
搜索关键词: | 一种 锗单晶 生长 | ||
【主权项】:
暂无信息
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