[外观设计]全自动湿法清洗机台（Cassette type 双6寸）有效
| 申请号： | 202330062581.1 | 申请日： | 2023-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN308109841S | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陆佳慧;徐铭;陈丁堃 | 申请（专利权）人： | 江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号： | 06-03 | 分类号： | 06-03 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 226299 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：全自动湿法清洗机台（Cassette type 双6寸）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于6寸晶元的清洗制造工艺。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 湿法 清洗 机台 cassette type | ||
【主权项】：
暂无信息
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