[发明专利]一种VCSEL及其制造方法在审
申请号: | 202380009103.1 | 申请日: | 2023-03-16 |
公开(公告)号: | CN116868462A | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 陈耿;锡瓦库马尔·兰卡;贺永祥;汪洋 | 申请(专利权)人: | 深圳瑞识智能科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/187 | 分类号: | H01S5/187;H01S5/125 |
代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 车大莹;郭伟刚 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种VCSEL,包括衬底、第一反射器区、第二反射器区、有源区和氧化缝隙。第二反射器区包括反射镜对。反射镜对具有第一层和第二层。第一层的边和第二层的边沿着大致垂直于衬底的方向排列。 | ||
搜索关键词: | 一种 vcsel 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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