[其他]溅射太阳能选择性吸收涂层及制造方法无效
申请号: | 85100142 | 申请日: | 1985-04-01 |
公开(公告)号: | CN85100142B | 公开(公告)日: | 1987-07-22 |
发明(设计)人: | 殷志强 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | F24J2/48 | 分类号: | F24J2/48;C23C14/34 |
代理公司: | 清华大学专利事务所 | 代理人: | 胡兰芝 |
地址: | 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 溅射太阳能选择性吸收涂层,应用于太阳能集热器。采用单个圆柱(或平板)铝阴极,于氩气中溅射铝膜为底层,先后于氩-氮(或氩-一氧化碳)混合气体与纯氮(纯一氧化碳)中反应溅射成份渐变的铝-氮(或铝-碳-氧)复合吸收材料。涂层的太阳吸收率α≈0.93,发射率ε≈0.06(100℃)。本发明使溅射系统结构简化,溅射效率提高。新涂层放气量少,制造中真空烘烤温度可降至400~450℃;缩短了生产周期,降低能耗,可允许用软化点低的玻璃。 | ||
搜索关键词: | 溅射 太阳能 选择性 吸收 涂层 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种溅射太阳能选择性吸收涂层,其特征是以沉积的铝膜为底层,以沉积的铝-氮(或铝-碳-氧)复合成分为吸收材料层,该吸收材料层的成分是渐变的。
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