[发明专利]高分辨率深能级瞬态谱仪的设置方法及仪器

摘要

属于半导体深能级谱的测量仪器，本发明提出了高分辨率组合率窗系列，设计了多种方案的高分辨率组合率窗讯号处理仪，以及用此处理仪而得到的高分辨率深能级瞬态(电容)谱仪等多种高分辨率深能级谱仪，本发明仪器所得实验谱线与已有相比，显著地提高了分辨率，本发明可形成一代新的深能级瞬态谱仪。

主权项

1.关于半导体深能级瞬态谱仪中瞬态信号处理仪的设置方法，其特征是对瞬态讯号设置多点组合率窗系列SRW(m)，即对一个瞬态讯号设置多于两个(m≥3)不同时间的取样点(t1、t2、……tm)，由其组合构成率窗，具体组合方法由比取样点少一的二个相邻近率窗的谱讯号之差获取：S(3)＝S(t1、t2)-S(t2、t3)...S(m)＝S(t1、t2…tm-1)-S(t2、t3…tm)＝S(t1)-a2mS(t2)+…+(-1)n-1anmS(tn)+…+(-1)m-1S(tm)