[其他]多束金属和气体粒子束发生装置无效
| 申请号： | 85100610 | 申请日： | 1985-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1004664B | 公开（公告）日： | 1989-06-28 |
| 发明（设计）人： | 江兴流 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 兰州大学专利事务所 | 代理人： | 郭书军;吴大明 |
| 地址： | 甘肃省兰州市*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 多束金属和气体粒子束发生装置，放电室由金属极板和绝缘片交替迭起构成，金属极板上至少有两个孔，不同金属极板上的孔数相同或不同。该装置可产生多束电子束和金属离子束，处理面积大，被处理材料的表面性能将产生很大的变化，应用范围很广。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 气体 粒子束 发生 装置 | ||
【主权项】：
1、多束金属和气体粒子束发生装置，放电室由金属极板(3〕和绝缘片〔2〕交替迭起构成，本发明的特征是金属极板(3)上的孔是两个或两个以上的，不同金属极板上的孔数相同或不同。
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